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发明名称 Ein Waferhalter
摘要
申请公布号 DE602005010326(D1) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 DE20056010326T 申请日期 2005.05.13
申请人 VIVACTIS NV 发明人 JAENEN, JEAN-PAUL;VAN GERWEN, PETER
分类号 H01L21/68;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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