发明名称 Verfahren zur Strukturierung eines Materials und strukturiertes Material
摘要 <p>Verfahren, das folgende Schritte umfasst: . Bereitstellen einer Anordnung von dreidimensionalen Körpern (110) mit dem Material (120) zwischen diesen Strukturen (110); . Strukturieren des Materials (120) mittels einer gerichteten Bestrahlung (130), so dass ein Projektionsmuster (103) der Verfahren zur Strukturierung eines Materials (120), wobei der dreidimensionale Körper (110) übertragen wird und das Material (120) mindestens zwei dreidimensionale Körper (110) miteinander verbindet.</p>
申请公布号 DE102007022748(A1) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 DE20071022748 申请日期 2007.05.15
申请人 QIMONDA AG 发明人 KLUGE, JOHANNES VON
分类号 H01L21/31;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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