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发明名称
) zum Erzeugen einer Schicht hoher Qualität
摘要
申请公布号
DE602006003129(D1)
申请公布日期
2008.11.27
申请号
DE200660003129T
申请日期
2006.06.01
申请人
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM (IMEC)
发明人
DELABIE, ANNELISE;CAYMAX, MATTY
分类号
C23C16/455;C23C16/40
主分类号
C23C16/455
代理机构
代理人
主权项
地址
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