发明名称 ) zum Erzeugen einer Schicht hoher Qualität
摘要
申请公布号 DE602006003129(D1) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 DE200660003129T 申请日期 2006.06.01
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM (IMEC) 发明人 DELABIE, ANNELISE;CAYMAX, MATTY
分类号 C23C16/455;C23C16/40 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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