发明名称 METHOD OF PICKING UP AND BONDING SEMICONDUCTOR WAFERS TO A CARRIER
摘要
申请公布号 US3568307(A) 申请公布日期 1971.03.09
申请号 USD3568307 申请日期 1969.04.10
申请人 KULICKE AND SOFFA INDUSTRIES INC. 发明人 EARL A. ZANGER;PETER R. SZASZ
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/00;H01L7/02;H01L7/16 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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