发明名称 Verwendung von Kohlenstoffnanoröhren als Isolationsschichtmaterial für die Mikroelektronik
摘要
申请公布号 DE102006027880(B4) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 DE200610027880 申请日期 2006.06.09
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC.;LEIBNIZ-INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V.;TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN 发明人 HERMANN, HELMUT;TAESCHNER, CHRISTINE;SEIFERT, GOTTHARD;ZSCHECH, EHRENFRIED
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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