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发明名称
Verwendung von Kohlenstoffnanoröhren als Isolationsschichtmaterial für die Mikroelektronik
摘要
申请公布号
DE102006027880(B4)
申请公布日期
2008.11.27
申请号
DE200610027880
申请日期
2006.06.09
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES INC.;LEIBNIZ-INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V.;TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN
发明人
HERMANN, HELMUT;TAESCHNER, CHRISTINE;SEIFERT, GOTTHARD;ZSCHECH, EHRENFRIED
分类号
H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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