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发明名称
HERSTELLUNG EINES HALBLEITER-BAUELEMENTES
摘要
申请公布号
DE60037395(T2)
申请公布日期
2008.11.27
申请号
DE20006037395T
申请日期
2000.03.06
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
YOSHITAKA, HIKARU
分类号
H01L21/768;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/3205
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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