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发明名称 Optisches Element, Beleuchtungsoptik für die Mikrolithographie mit mindestens einem derartigen optischen Element sowie Beleuchtungssystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik
摘要
申请公布号 DE102007023411(A8) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 DE20071023411 申请日期 2007.05.18
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 GERHARD, MICHAEL
分类号 G02B27/09;G02B3/00;G02B3/08;G02B19/00;G02B27/42;G03F7/20 主分类号 G02B27/09
代理机构 代理人
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