发明名称 Verfahren zur Behandlung von Siliziumwafern, Behandlungsflüssigkeit und Siliziumwafer
摘要 <p>Um einen Texturierungsprozess von Siliziumwafern (17) für die Herstellung von Solarzellen zu verbessern, insbesondere zu beschleunigen, und eine erhöhte Pyramidendichte zu erreichen, wird einer alkalischen Behandlungsflüssigkeit als Zusatz mindestens eine wasserlösliche Hydroxyverbindung aus der Gruppe mit Hydroxycarbonylen, Hydroxyaromaten, alicyclischen Hydroxyverbindungen, aliphatischen Polyhydroxyverbindungen sowie aliphatisch-aromatischen Hydroxyverbindungen beigemischt, vorteilhaft Sorbitol. Der Anteil an dem Zusatz kann wenige Prozent betragen.</p>
申请公布号 DE102007026081(A1) 申请公布日期 2008.11.27
申请号 DE20071026081 申请日期 2007.05.25
申请人 GEBR. SCHMID GMBH & CO. 发明人 FROEHLICH, HOLGER
分类号 H01L21/306;H01L31/18 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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