摘要 |
Regeln zumindest eines Festkörperaktors (P1) einer Festkörperaktor-Antriebsvorrichtung mit in einer Regelschleife dem zumindest einen Festkörperaktor (P1), einer Verstärkeranordnung (12, 14*) zum Anlegen eines Ansteuersignals (out_r) an den zumindest einen Festkörperaktor (P1), einem kapazitiven Spannungsteiler, der in Reihe geschaltet den zumindest einen Festkörperaktor (P1) und eine kapazitive Komponente aufweist, und einem resistiven Spannungsteiler, der in Reihe geschaltet zumindest einen ersten und einen zweiten Widerstand (R1, R2) aufweist, wobei ein gemeinsamer Schaltungspunkt (N) sowohl zwischen den zumindest einen Festkörperaktor (P1) und die kapazitive Komponente als auch zwischen den ersten und den zweiten der Widerstände (R1, R2) geschaltet ist und diese elektrisch miteinander verbindet und wobei der gemeinsame Schaltungspunkt (N) ein Rückführungssignal (fb) als Regelgröße für die Verstärkeranordnung (12, 14*) bereitstellt.
|