| 发明名称 | 夹紧装置、基板传送装置、和在线式FPD自动光学检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基板夹紧装置和基板传送装置，用于通过机械地固定基板的其中一侧并通过真空吸附而传送基板。该基板夹紧装置包括：上卡盘；下卡盘，其构造成在该上卡盘和下卡盘之间放入并夹住基板；和吸气嘴，其构造成在该上卡盘和下卡盘的彼此相对的相对面的至少一个上吸附并固定基板，从而防止由该基板夹紧装置固定的基板在基板传送过程中发生分离或在接触面上产生划痕。在基板夹紧装置夹紧的基板高速移动时，本发明防止该基板与该基板夹紧装置发生分离，从而确保基板传送的可靠性并提高产品的生产率。 | ||
| 申请公布号 | CN100437967C | 申请公布日期 | 2008.11.26 |
| 申请号 | CN200610103870.7 | 申请日期 | 2006.08.04 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 金玟锡;金相银;李英成;李恩璟;闵相植 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L21/66(2006.01);B65G49/05(2006.01);B65G47/91(2006.01);G01N21/956(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;李丙林 |
| 主权项 | 1.一种基板夹紧装置，其包括：上卡盘；和下卡盘，其构造成将基板放入在所述上卡盘和下卡盘之间并夹住所述基板，其中，构造成吸附并固定所述基板的吸气嘴形成于所述上卡盘和下卡盘的相对面中的至少一个上，这两个相对面彼此相对。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道城南市中院区上大院洞333－5番地 | ||