试验装置、合格与否判定基准设定装置以及试验方法

摘要

本发明提供一种考虑到工艺条件的波动、能以高灵敏度、高可靠性检测静态电源电流值的试验装置、合格与否判定基准设定装置、试验方法及试验程序。包括CPU10、输入部30、测量部40、输出部60、存储部100。存储部100包括测量点存储区11、试样测量数据存储区12、合格与否判定基准存储区13、测量条件存储区14、测量数据存储区15、合格与否判定结果存储区17。CPU10包括根据静态电源电流值设定测量点组的测量点分组部1、计算测量点组的静态电源电流值误差之和为最小的加权平均值的最佳加权平均值计算部2、根据加权平均值计算静态电源电流值的误差值的最大值的误差值计算部3及合格与否判定基准设定部4的合格与否判定基准设定装置20以及合格与否判定部50。

主权项

1.一种试验装置，其特征在于，包括；测量试验对象的半导体器件的测量部；输入所述半导体器件试验的设定数据的输入部；存储所述设定数据的存储部；根据多个工艺条件下的测量点的静态电源电流值，将所述测量点分组并设定测量点组的测量点分组部；计算加权平均值使由于所述测量点组的工艺条件之差而产生的所述静态电源电流值的误差之和为最小的加权平均值计算部，其中所述加权平均值是被分组的各测量点产生的所述静态电源电流值与平均值的差的加权平均值；根据所述加权平均值算出所述静态电源电流值的误差的最大值的误差值计算部；根据所述静态电源电流值的误差值，设定所述测量点组的合格与否判定基准的合格与否判定基准设定部；存储所述合格与否判定基准的存储部；以及根据所述合格与否判定基准来判定所述半导体器件合格与否的合格与否判定部。