发明名称 制备SnO<SUB>2</SUB>-ZnO异质纳米线的方法
摘要 本发明属于纳米氧化物半导体异质结构制备技术领域,特别涉及制备SnO<SUB>2</SUB>-ZnO异质纳米线的方法。本发明是采用两步气相沉积制备异质纳米线的方法。其方法包括以下过程:将SnO<SUB>2</SUB>粉与石墨粉,ZnO粉与石墨粉分别按比例混合,放入管式炉中部和上部位置,以Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>为衬底,通过惰性气体(如氩气)传输,用两步热蒸发的方法在Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基片上生长得到SnO<SUB>2</SUB>-ZnO异质纳米线。得到的异质纳米线形貌纯净且质量好,在场发射及光电器件方面有应用前景。
申请公布号 CN101311371A 申请公布日期 2008.11.26
申请号 CN200810100984.5 申请日期 2008.02.27
申请人 中国科学院理化技术研究所 发明人 师文生;凌世婷
分类号 C30B29/22(2006.01);C30B1/10(2006.01);C30B29/62(2006.01) 主分类号 C30B29/22(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 李柏
主权项 1.一种制备SnO2-ZnO异质纳米线的方法,其特征是:该方法包括以下步骤:1)将SnO2粉和石墨粉按物质的摩尔比为1∶5~5∶1混合研磨,将ZnO粉和石墨粉按物质的摩尔比为1∶5~5∶1混合研磨;以石墨的摩尔为基准;2)将步骤1)得到的两个混合物分别放入两个瓷舟中,然后将装有SnO2 粉和石墨粉混合物的瓷舟放在管式炉的中心位置,将装有ZnO粉和石墨粉混合物的瓷舟放在管式炉上部距中心位置10~15cm处;3)将Al2O3基片平铺在步骤2)的管式炉下部距中心5~20cm处,作为纳米线生长的基底;4)将步骤3)的管式炉加热到800~1000℃,升温速度在10~30℃/min;5)将惰性气体通入步骤4)的管式炉中作为载气,载气的流量和管式炉内的压强分别为10~100sccm和50~5000Pa,进行反应生长;6)反应结束后,将步骤5)上部装有ZnO粉和石墨粉混合物的瓷舟推至管式炉的中部,升高温度到1000℃~1150℃;7)待系统降温后取出Al2O3基片,上面的毛绒状产物是SnO2-ZnO异质纳米线。
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