有源矩阵显示板的检验设备、方法和有源矩阵有机发光二极管显示板的制造方法

摘要

本申请涉及有源矩阵显示板的检验设备、方法和有源矩阵有机发光二极管显示板的制造方法。该检验方法包括：在衬底上形成薄膜晶体管阵列从而制造有源矩阵显示板的阵列工艺；检验制造出来的有源矩阵显示板的性能的检验工艺；以及在所述检验工艺中被判断为没有缺陷的有源矩阵显示板上安装有机发光二极管的单元工艺。在所述检验工艺中，在阵列工艺制造的有源矩阵显示板的暴露出有机发光二极管连接电极的一面的附近设置对电极，并测量在要测量的构成有源矩阵显示板的像素上流动的电流。

主权项

1.一种有源矩阵显示板检验设备，包括：对电极，在形成有机发光二极管之前，它被设置在有源矩阵显示板的暴露出有机发光二极管连接电极的一面的附近；微电容形成装置，用于利用所述对电极在构成有源矩阵显示板的驱动薄膜晶体管的有机发光二极管连接电极和电源之间形成微电容；以及检验装置，用于根据所述微电容形成装置所形成的微电容来检验所述有源矩阵显示板；以及夹断电压估算装置，用于使用像素电路中存在的像素电容和所述微电容配置电荷泵电路，并在补偿阈电压之后估算夹断电压。