测量透明样品厚度的方法和装置

摘要

一种用于测量透明样品(2)的厚度的装置，具有第一入射光束(L1)，其以第一入射角(α1)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，具有第二入射光束(L2)，其以第二入射角(α2)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，所述第一入射角(α1)与所述第二入射角(α2)不相同，以及具有两个检测器(11，12)，用于检测所述第一和第二入射光束(L1，L2)被所述样品(2)反射的反射光束(L1’，L1”)，并且用于确定它们的位置，其特征在于所述检测器用于确定在所述样品的前表面和后表面上反射的第一入射光束和第二入射光束的反射光束的位置，并且还确定在所述前表面和后表面反射的所述第一入射光束和/或第二入射光束的反射光束的间距，平行于所述第一或第二入射光束(L1，L2)的一个第三入射光束(L3)射向所述样品(2)的前表面(8)，以及所述两个检测器中的一个检测器(11)用于检测所述第三入射光束(L3)被所述样品(2)所反射的光束(L3’)，并且用于确定其位置。

主权项

1.一种用于测量透明样品(2)的厚度的装置，具有第一入射光束(L1)，其以第一入射角(α1)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，具有第二入射光束(L2)，其以第二入射角(α2)倾斜地入射到所述样品(2)的前表面(8)上，所述第一入射角(α1)与所述第二入射角(α2)不相同，以及具有两个检测器(11，12)，用于检测所述第一和第二入射光束(L1，L2)被所述样品(2)反射的反射光束(L1’，L1”)，并且用于确定它们的位置，其特征在于所述检测器用于确定所述第一入射光束和第二入射光束在所述样品的前表面和后表面上反射的反射光束的位置，并且还确定所述第一入射光束和/或第二入射光束在所述前表面和后表面反射的反射光束的间距，平行于所述第一或第二入射光束(L1，L2)的一个第三入射光束(L3)射向所述样品(2)的前表面(8)，以及所述两个检测器中的一个检测器(11)用于检测所述第三入射光束(L3)被所述样品(2)所反射的光束(L3’)，并且用于确定其位置。