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发明名称 Charged particle beam apparatus and irradiation method
摘要
申请公布号 EP1398818(B1) 申请公布日期 2008.11.26
申请号 EP20030020626 申请日期 2003.09.10
申请人 JP 发明人 JP;JP;JP;JP;JP;JP
分类号 H01J37/153;G01Q20/02;G01Q30/02;H01J3/14;H01J29/70;H01J37/28 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
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