发明名称
摘要
申请公布号 JP4187323(B2) 申请公布日期 2008.11.26
申请号 JP19980290906 申请日期 1998.10.13
申请人 发明人
分类号 H01F41/14;H01L21/3065;C23C14/50;C23C14/56;C23F4/00;H01F41/30;H01L21/203;H01L21/302 主分类号 H01F41/14
代理机构 代理人
主权项
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