复合梁压阻加速度计

摘要

本发明涉及微机械电子技术，具体是一种复合梁压阻加速度计。解决了现有高g加速度计的结构不能满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，同时抗冲击性能较差的问题，该加速度计包括硅基支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于硅基支撑框体中间的质量块，弹性梁的端部扩散有压敏电阻，硅基支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，质量块由框体和通过连接梁固定于框体内的质量芯块构成。本发明结构合理，能同时满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，并且具有高抗过载能力。

主权项

1、一种复合梁压阻加速度计，包括硅基支撑框体(1)、弹性梁(2)、通过弹性梁(2)支悬于硅基支撑框体(1)中间的质量块，弹性梁(2)的端部扩散有压敏电阻(3)，硅基支撑框体(1)下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖(4)，其特征在于质量块由外框体(5)和通过连接梁(6)固定于外框体(5)内的质量芯块(7)构成。