组合的步进器和沉积工具

摘要

一种步进器在形成集成电路的过程中与沉积材料层的硬件组合，因此执行沉积、构图和清洗，而无需将晶片暴露于工具之间的传送，并且将三个工具的功能组合在一个复合工具中。通过施加穿过步进器的掩膜的UV光来去除图案限定材料，从而消除现有技术方法的烘焙和显影步骤。类似地，UV的整片曝光消除现有技术方法的清洗步骤。

主权项

1.一种用于在工件上沉积已构图结构材料层的设备，包括：沉积模块，具有气体供给装置和用于沉积结构材料的装置，所述气体供给装置用于使至少一种气体在所述工件上流动，所述至少一种气体包括图案材料形成气体，以及曝光模块，包括对准工件的粒子源以及调节所述粒子的分布的构图单元。