| 发明名称 | 扭矩传感器 | ||
| 摘要 | 适当地蚀刻石英晶片基底，以从该石英晶片基底产生石英横膈膜。然后可以连同石英盖一起将多个扭矩SAW感测谐振器设置在该石英晶片基底上，从而从该石英晶片基底产生一个石英扭矩传感器封装。 | ||
| 申请公布号 | CN101313203A | 申请公布日期 | 2008.11.26 |
| 申请号 | CN200680043954.4 | 申请日期 | 2006.09.20 |
| 申请人 | 霍尼韦尔国际公司 | 发明人 | J·ZT刘;S·J·马吉 |
| 分类号 | G01L3/10(2006.01);G01L1/16(2006.01);H03H9/05(2006.01);H03H9/10(2006.01) | 主分类号 | G01L3/10(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王岳;陈景峻 |
| 主权项 | 1、一种扭矩传感器设备，包括：至少一个构造于石英基底上的声感测装置，其与由所述石英晶片基底蚀刻的石英横膈膜相关联，其中所述至少一个声感测装置检测与经受扭矩的物体相关联的所述扭矩；以及临近所述石英基底设置的盖，其中所述盖包括石英，并且通过使用惰性气体密封所述至少一个声感测装置和所述石英基底来维护和保护所述至少一个声感测装置。 | ||
| 地址 | 美国新泽西州 | ||