发明名称 |
METHOD FOR TUNING THIN FILM FBARS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0948821(B1) |
申请公布日期 |
2008.11.26 |
申请号 |
EP19970943309 |
申请日期 |
1997.09.12 |
申请人 |
AVAGO TECHNOLOGIES WIRELESS IP (SINGAPORE) PTE. LTD. |
发明人 |
YLILAMMI, MARKKU |
分类号 |
H01L41/08;H01L41/09;H03H3/04;H03H9/17 |
主分类号 |
H01L41/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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