氮化物发光装置及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有层状结构的氮化物LED，其中依次层叠有基底、n-型覆盖层、活性层、p-型覆盖层和多层欧姆接触层，及其制备方法。在该氮化物LED中，多层欧姆接触层包括第一透明薄膜层/银/第二透明薄膜层的多层。在该氮化物LED及其制备方法中，关于p-型覆盖层的欧姆接触特性得到了提高，因而表现出好的电流-电压特性。而且，由于透明电极有高的透光性能，因而装置的发光效率得到了提高。

主权项

1.一种在n-型覆盖层和p-型覆盖层之间有活性层的氮化物发光装置(LED)，其在p-型覆盖层上含有多层欧姆接触层，其中该多层欧姆接触层包括：在p-型覆盖层上形成的第一透明薄膜层；在p-型覆盖层和第一透明薄膜层之间的中间层，该中间层是由至少一种选自镍(Ni)、钴(Co)、锌(Zn)、钯(Pd)、铂(Pt)、铜(Cu)、铱(Ir)和钌(Ru)的元素、含有所选元素的合金、氧化物和固溶体所形成的；在所述第一透明薄膜层上含主要成分为银的金属层；和在所述金属层上形成的第二透明薄膜层；和其中，第一透明薄膜层和第二透明薄膜层是由透明的氧化物、透明的氮化物和透明的电介质之一形成的。