| 发明名称 | 制造有机电致发光元件的方法 | ||
| 摘要 | 一种制造有机电致发光(EL)元件的方法，其中：在透明衬底(11)上形成衬底标记(13)作为对准标记；衬底标记(13)与在透明衬底(11)上形成透明电极(12)的同时形成；衬底标记(13)用与透明电极(12)相同的材料形成；多个滤光片(17)的透射波长的中心波长彼此不同；从多个滤光片(17)选择与衬底标记(13)的厚度对应的滤光片(17)；光从白光光源(16)透过所选的滤光片(17)照射到衬底标记(13)上；于是，识别出衬底标记(13)以使阴影掩模(14)与透明衬底(11)对准。 | ||
| 申请公布号 | CN101312156A | 申请公布日期 | 2008.11.26 |
| 申请号 | CN200810107858.2 | 申请日期 | 2008.05.23 |
| 申请人 | 株式会社丰田自动织机 | 发明人 | 曾根宏隆;大国寿夫;吉野公彦 |
| 分类号 | H01L21/82(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L51/56(2006.01);C23C14/04(2006.01);C23C16/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/82(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 柯广华;刘宗杰 |
| 主权项 | 1.一种制造有机电致发光元件的方法，其特征在于包括如下步骤：在透明衬底(11)上形成透明电极(12)；在透明衬底(11)上形成衬底标记(13)作为对准标记，所述衬底标记(13)与在透明衬底(11)上形成透明电极(12)的同时形成，且所述衬底标记(13)用与透明电极(12)相同的材料形成，所述衬底标记(13)具有厚度；将所述透明衬底(11)设置在阴影掩模(14)之上，以将所述阴影掩模(14)与所述透明衬底(11)对准；准备白光光源(16)和多个滤光片(17)，其中各滤光片(17)的透射波长的中心波长彼此不同；从所述多个滤光片(17)中选择一个对应于衬底标记(13)厚度的滤光片(17)；将来自白光光源(16)的光通过所选的滤光片(17)照射到所述衬底标记(13)上，以利用所述衬底标记(13)将所述阴影掩模(14)与所述透明衬底(11)对准；以及通过所述阴影掩模(14)进行淀积，在透明电极(12)上层叠有机EL层。 | ||
| 地址 | 日本爱知县刈谷市 | ||