闪烁器面板和放射线图象传感器

摘要

在闪烁器面板(1)的a－C制的基片(10)的一侧的表面上形成作为光反射膜的Ag膜(12)。这个Ag膜(12)的整个表面被用于保护Ag膜(12)的SiN膜(14)覆盖。在这个SiN膜(14)的表面上形成将入射的放射线变换成可见光的柱状构造的闪烁器(16)。这个闪烁器(16)和基片(10)一起被聚对二甲苯膜(18)覆盖。

主权项

1.一种闪烁器面板，其特征在于，是在基片上支撑有闪烁器的闪烁器面板，其中，所述基片是透过放射线的基片，在所述基片与所述闪烁器之间具备：反射性金属薄膜，其透过放射线，并且将由所述闪烁器发出的光中的返回所述基片侧的光进行反射，和保护膜，其形成为使所述反射性金属薄膜不与所述闪烁器直接接触，所述闪烁器通过蒸涂而堆积在所述保护膜上，从所述基片的与形成有所述闪烁器的一侧相反的一侧入射的放射线，透过所述基片、所述反射性金属薄膜和所述保护膜而入射至所述闪烁器，并且，相应于该放射线的入射而由所述闪烁器发出的光从所述闪烁器的与所述基板相反的一侧发出。