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发明名称
摘要
申请公布号 JP4186644(B2) 申请公布日期 2008.11.26
申请号 JP20030038052 申请日期 2003.02.17
申请人 发明人
分类号 C23C14/50;H01L21/205;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/3065 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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