发明名称 互补金属氧化物半导体图像传感器及其制造方法
摘要 一种互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器及其制造方法被公开。所述CMOS图像传感器包括:像素区,提供有多个单元像素,每个包括埋入式光电二极管以及浮动扩散区;以及逻辑区,提供有用于处理从单元像素输出的数据的CMOS装置,其中自对准硅化物层形成在逻辑区中的CMOS装置的栅电极和源/漏区上,而自对准硅化物阻挡层形成在像素区之上。
申请公布号 CN100438058C 申请公布日期 2008.11.26
申请号 CN200510137607.5 申请日期 2005.12.26
申请人 美格纳半导体有限会社 发明人 李柱日
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 徐谦;杨红梅
主权项 1.一种互补金属氧化物半导体CMOS图像传感器,包括:像素区,提供有多个单元像素,每个包括埋入式光电二极管以及浮动扩散区;以及逻辑区,提供有用于处理从所述单元像素输出的数据的CMOS装置,其中自对准硅化物层形成在所述逻辑区中的所述CMOS装置的栅电极和源/漏区上,而自对准硅化物阻挡层形成在所述像素区之上。
地址 韩国忠清北道