差动电感式二维位移测量传感器

摘要

本发明公开了一种用于测量二维位移的传感器，由线圈、衔铁和安装部件构成，磁路为封闭式磁路，线圈置于安装部件中。差动电感式二维位移测量传感器为变面积型电感式位移传感器，所述线圈为四个线圈，所述的衔铁为可移动衔铁[4]，衔铁[4]置于四个线圈的顶部；在x和y轴方向分别对称分布有一组线圈，其结构和电气性能参数完全一致，且分别接成差动形式。衔铁可以直接是被测物体或通过连接杆与被测物体连接，当被测物体移动时，衔铁在四个线圈表面上进行平动，从而引起四个线圈的电感发生变化，通过后续电路可直接输出被测物体的位移。该传感器结构新颖，装配、调试容易，而且具有较高的分辨率、灵敏度、高的抗干扰能力和较大的线性范围。

主权项

1、一种差动电感式二维位移测量传感器，包括四个线圈、衔铁、铁心和安装部件，衔铁通过连接杆与被测物体连接或直接与被测物体固连在一起，线圈置于安装部件中，所述的衔铁为可移动衔铁，衔铁置于四个线圈的顶部；在x和y轴方向分别对称分布有一组线圈，四个线圈的结构和电气性能参数完全一致，每个方向上的两个线圈分别接成差动形式，其特征在于：差动电感式二维位移测量传感器为变面积型电感式位移传感器，所述的衔铁(4)由4个独立的子衔铁(41、42、43、44)组成，所述的铁心(5)由4个独立的U形子铁心(51、52、53、54)组成，4个子铁心(51、52、53、54)、4个子衔铁(41、42、43、44)和4个线圈(21、22、23、24)构成4个独立的封闭磁路；4个子衔铁固定在衔铁固定板(8)中，使4个子衔铁成为一体，4个子铁心固定在铁心固定板(9)上，使4个子铁心的位置固定，当衔铁固定板(8)作二维移动时，4个磁路独立工作。