发明名称 |
具有ID标记的半导体晶片,及从中生产半导体器件的方法和设备 |
摘要 |
半导体晶片具有:倾斜轮廓,沿着半导体晶片的周边形成;形成在该晶片上的产品;和形成在倾斜轮廓上的ID标记。该ID标记至少显示产品的属性、生产条件和检测结果。 |
申请公布号 |
CN100438015C |
申请公布日期 |
2008.11.26 |
申请号 |
CN200510099508.2 |
申请日期 |
2002.03.21 |
申请人 |
株式会社东芝 |
发明人 |
有门経敏;岩濑政雄;灘原壮一;有働祐宗;牛久幸広;新田伸一;宫下守也;菅元淳二;山田浩玲;永野元;丹沢勝二郎;松下宏;土屋憲彦;奥村胜弥 |
分类号 |
H01L23/544(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/544(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
秦晨 |
主权项 |
1.半导体晶片,包括:圆形基础晶片;倾斜轮廓,沿着所述基础晶片的周边形成;绝缘层,布置在所述基础晶片上;单晶硅层,布置在所述绝缘层上;提供于所述单晶硅层上的第一和第二产品;参考位置,确定在所述单晶硅层的周边,以指示所述单晶硅层的晶向;参考ID标记,根据所述参考位置形成在所述倾斜轮廓上,以指示所述单晶硅层的晶向;以及ID标记,形成在所述倾斜轮廓上,并且含有包含形成在所述单晶硅层上的所述第一产品的属性、生产条件和检测结果的数据,其中所述第二产品根据所述ID标记中的数据而形成。 |
地址 |
日本东京都 |