| 发明名称 | 用于高性能互连的碳纳米管钎料复合材料 | ||
| 摘要 | 本发明的实施方案是互连技术。制备碳纳米管(CNT)。形成含有预定体积分数的CNT和钎料的CNT钎料复合浆料。 | ||
| 申请公布号 | CN101313397A | 申请公布日期 | 2008.11.26 |
| 申请号 | CN200680043118.6 | 申请日期 | 2006.12.07 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | D·苏 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01);B23K20/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/60(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 程大军 |
| 主权项 | 1.一种方法，其包括：制备碳纳米管(CNT)：以及形成具有预定体积分数的CNT和钎料的CNT-钎料复合浆料。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||