发明名称 ABERRATION-CORRECTING CATHODE LENS MICROSCOPY INSTRUMENT
摘要
申请公布号 EP1994544(A2) 申请公布日期 2008.11.26
申请号 EP20070756958 申请日期 2007.02.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 TROMP, RUDOLF, M.
分类号 H01J37/05;G01N23/20;G01N23/227;H01J37/153 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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