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发明名称
摘要
申请公布号
JP4187540(B2)
申请公布日期
2008.11.26
申请号
JP20030024505
申请日期
2003.01.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/304;H01L21/3065
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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