发明名称
摘要
申请公布号 JP4188606(B2) 申请公布日期 2008.11.26
申请号 JP20020034640 申请日期 2002.02.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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