发明名称 相变化存储器装置及其制造方法
摘要 本发明提供一种相变化存储器装置及其制造方法。上述相变化存储器装置包括:加热构件具有导电部与相对高电阻的加热部;以及相变化存储层与该加热构件堆叠;其中该相对高电阻的加热部包括金属硅氮化物部分。
申请公布号 CN101312231A 申请公布日期 2008.11.26
申请号 CN200710105193.7 申请日期 2007.05.24
申请人 财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 发明人 陈颐承;陈志伟;许宏辉;李乾铭
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L27/24(2006.01);G11C11/56(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种相变化存储器装置,至少包括:加热构件具有导电部与相对高电阻的加热部;以及相变化存储层与该加热构件堆叠;其中该相对高电阻的加热部包括金属硅氮化物部分。
地址 中国台湾新竹县