| 发明名称 | 一种晶体三极管铜线键合部位用的保护气体配比装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶体三极管铜线键合部位用的保护气体配比装置，它能向晶体三极管铜线键合部位提供气压和配比稳定的氢氮混合气体。该保护气体配比装置中氢气管道从进气口至出气口之间依次串接有第1调压阀、第1压力表、第1气流开关、压力阀和第1流量计；所述氮气管道从进气口至出气口之间依次串接有第2调压阀、第2压力表、第2气流开关、第2流量计；在第2气流开关与第2流量计之间的气体管道中贯通接有分支气体管道，该分支气体管道末端与压力阀的活塞相连接；所述氢气管道出气口和氮气管道出气口与气体混合箱入气口相连接，混合后的气体经气体混合箱出气口和混合气体管道输至晶体三极管铜线键合部位。 | ||
| 申请公布号 | CN201156531Y | 申请公布日期 | 2008.11.26 |
| 申请号 | CN200820044428.6 | 申请日期 | 2008.02.25 |
| 申请人 | 佛山市蓝箭电子有限公司 | 发明人 | 雒继军 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01);F17D1/04(2006.01);F17D3/01(2006.01) | 主分类号 | H01L21/60(2006.01) |
| 代理机构 | 佛山市永裕信专利代理有限公司 | 代理人 | 朱永忠 |
| 主权项 | 1、一种晶体三极管铜线键合部位用的保护气体配比装置，包括氢气管道和氮气管道、氢、氮气体混合箱及其混合气体输出管道，其特征在于：所述氢气管道从进气口至出气口之间依次串接有第1调压阀、第1压力表、第1气流开关、压力阀和第1流量计；所述氮气管道从进气口至出气口之间依次串接有第2调压阀、第2压力表、第2气流开关、第2流量计；在第2气流开关与第2流量计之间的气体管道中贯通接有分支气体管道，该分支气体管道末端与压力阀的活塞相连接；所述氢气管道出气口和氮气管道出气口与气体混合箱入气口相连接，混合后的气体经气体混合箱出气口和混合气体管道输至晶体三极管铜线键合部位。 | ||
| 地址 | 528000广东省佛山市禅城区佛平路1号 | ||