| 摘要 |
<p>Composant de micromécanique comportant un substrat (1), une couche mince d'encapsulage (4) et une cavité (6) délimitée par le substrat (1) et la couche mince (4), la cavité (6) emprisonnant au moins une phase gazeuse (9) ayant une pression intérieure. La phase gazeuse (9) a une composition non atmosphérique.Procédé de fabrication d'un composant de micromécanique comprenant un substrat (1) et une couche mince d'encapsulage (4) ainsi qu'une cavité (6) délimitée par le substrat (1) et la couche mince d'encapsulage (4), caractérisé par les étapes suivantes: mise en place d'un polymère (8) dans la cavité (6), fermeture de la cavité (6), création d'une phase gazeuse à composition non atmosphérique dans la cavité (6) par décomposition d'au moins une partie du polymère (8).</p> |
