| 发明名称 |
Adaptive electropolishing using thickness measurements and removal of barrier and sacrificial layers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003256673(A8) |
申请公布日期 |
2008.11.20 |
| 申请号 |
AU20030256673 |
申请日期 |
2003.07.22 |
| 申请人 |
ACM RESEARCH, INC. |
发明人 |
CHAW-CHI YU;PEIHAUR YIH;MUHAMMED AFNAN;DAMON L. KOEHLER;HUI WANG |
| 分类号 |
H01L21/302;B23H5/08;C25F3/02;C25F7/00;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/461;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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