摘要 |
Es wird ein mikromechanisches Bauelement (100) beschrieben, mit einer Schicht (110); zumindest einem ersten Schlitz (120'), der in der Schicht (110) gebildet ist, um ein über einen ersten Federabschnitt (130') der Schicht (110) schwingfähig aufgehängtes erstes Schwingungselement (150') zu definieren; und zumindest einem zweiten Schlitz (120), der in der Schicht (110) gebildet ist, um ein über einen zweiten Federabschnitt (130) der Schicht (110) schwingfähig aufgehängtes zweites Schwingungselement (150) zu definieren, wobei in dem zweiten Federabschnitt (130) ein Graben (140) in einer Hauptoberfläche (112) der Schicht (110) gebildet ist, wobei eine Resonanzfrequenz (f<SUB>1</SUB>) des ersten Schwingungselements (150') unterschiedlich zu einer Resonanzfrequenz (f<SUB>2</SUB>) des zweiten Schwingungselements (150) ist, und der erste Federabschnitt (130'), der zweite Federabschnitt (130) und der Graben (140) derart gebildet sind, dass bei einem anisotropen lateralen Materialabtrag (-Deltab) bzw. einer anisotropen lateralen Materialhinzufügung (+Deltab) des ersten Federabschnittes (130') und des zweiten Federabschnittes (130) ein Verhältnis (V<SUB>s</SUB>) einer relativen Änderung der Resonanzfrequenz des zweiten Schwingungselements (150) zu einer relativen Änderung der Resonanzfrequenz des ersten Schwingungselements (150') zwischen 0,8 und 1,2 liegt.
|