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发明名称 ZUR ANWENDUNG IN DER HERSTELLUNG VON NANOSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE60136036(D1) 申请公布日期 2008.11.20
申请号 DE20016036036 申请日期 2001.02.07
申请人 FEI CO. 发明人 GERLACH, ROBERT L.;TESCH, PAUL P.;SWANSON, LYNWOD W.;UTLAUT, MARK W.
分类号 C23C14/32;H01J37/08;H01J27/26;H01J37/244;H01J37/305;H01J37/317 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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