| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения нанотехнологических операций.</p>
<p>В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность охлаждения подложки в месте ее контакта с зондом, тем самым уменьшить дрейф наноструктур по поверхности.</p>
<p>Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве, содержащем неподвижную платформу, закрепленный на ней многокоординатный пьезопривод с зондом, подложку, установленную на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, зонд и подложка выполнены из разнородных проводников, таких что зонд выполнен из проводника с меньшим коэффициентом Пельтье, а подложка выполнена из проводника с большим коэффициентом Пельтье.</p>
<p>Применение предлагаемого нанотехнологического устройства позволяет обрабатывать подложку, охлаждая в месте контакта с зондом, уменьшая при этом дрейф наноструктур.</p> |
