发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Evakuieren einer Kammer
摘要
申请公布号 DE502005005582(D1) 申请公布日期 2008.11.20
申请号 DE200550005582T 申请日期 2005.04.27
申请人 BIS VAKUUMTECHNIK GMBH 发明人 BILZ, FELIX RUDOLF;BILZ, SASCHA
分类号 B65B31/02;B65B57/00 主分类号 B65B31/02
代理机构 代理人
主权项
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