| 发明名称 |
Justiermarke zur Ausrichtung eines Halbleiterwafers in einem Belichtungsgerät und deren Verwendung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10345238(B4) |
申请公布日期 |
2008.11.20 |
| 申请号 |
DE2003145238 |
申请日期 |
2003.09.29 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
HOMMEN, HEIKO;STAECKER, JENS |
| 分类号 |
H01L23/544;G03F7/20;G03F9/00 |
主分类号 |
H01L23/544 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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