具电性遮蔽结构的探针卡

摘要

一种具电性遮蔽结构的探针卡，是悬臂式探针卡，具有一探针座、多数个第一及第二探针，探针座具有具绝缘性的一周壁及多数个支撑部，以及设于周壁及支撑部之间电位接地的多数个导电部及金属片；各第一探针固定于周壁后即悬设于探针座上，各第二探针于探针座内与相邻的第一探针于铅垂方向上相隔有特定的间距，并依序穿设周壁、及支撑部后延伸悬设于探针座上，各第二探针于导电部中布设有金属片。

主权项

1.一种具电性遮蔽结构的探针卡，是悬臂式探针装置，其特征在于，包括有：一探针座，是具有具绝缘性的一周壁及多数个支撑部，以及具导电性的多数个导电部，该周壁位于该探针座周围，该些支撑部为该周壁所环绕，各该支撑部相邻于该周壁之间设有该导电部，各该导电部内具有至少一金属片，该金属片电性连接于接地电位；以及，多数个第一及第二探针，各该第一及第二探针是延伸区分有一身部、一连接部、一力臂及一针尖，各该第一探针的身部位于该探针座外，其连接部固定于该探针座的周壁，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座，各该第二探针的身部自该探针座外朝该周壁及导电部延伸穿设并固定其连接部于该支撑部上，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座，各该第二探针于该探针座内是与相邻的该第一探针于铅垂方向上相隔有特定的间距，该些第二探针的身部于该导电部内是布设该金属片。