实时观察胶体晶体内部缺陷的装置及方法

摘要

本发明公开了一种实时观察胶体晶体内部缺陷的装置，包括：光源、照明光束切换装置、样品台、缺陷成像装置及处理器，照明光束切换装置、样品台和缺陷成像装置依次前后排列。本发明还公开了一种实时观察胶体晶体内部缺陷的方法，具体为：1)单色光垂直照射样品；2)确定胶体晶体衍射光的方向；3)按照前述衍射光的方向确定照明光束切换装置内斜入射光束的方向；4)记录胶体晶体的衍射衬度像；5)图像处理。本发明采用的装置可以获得胶体晶体内部缺陷的衍衬像明场像、暗场像，观察暗场像时不必调整晶体或移动成像装置就可以得到明场像或者暗场像，在成像过程中显微镜物镜始终与样品表面垂直，便于使用工作距离短的高放大倍数物镜成像。

主权项

1.一种实时观察胶体晶体内部缺陷的装置，其特征在于，包括：光源、照明光束切换装置、样品台、缺陷成像装置及中央处理器，照明光束切换装置、样品台和缺陷成像装置依次前后排列，所述照明光束切换装置包括全反射镜、半透反射镜、长焦距聚焦透镜和切换器，所述切换器为一能挡住光束通过的装置，所述照明光束切换装置能实现对照射到样品上的入射光的切换，从而实现明、暗场像的快速切换；所述样品台与光轴同轴，并且能够以光轴和垂直于光轴的轴线旋转，样品放置在样品台上并且能够在垂直于光轴的平面上移动，实现样品的选区衍射以及选择不同的衍射光束成像；缺陷成像装置由显微物镜和CCD(电荷耦合器件)构成，显微物镜置于样品的后面并和CCD(电荷耦合器件)固定在同一导轨上，导轨可以绕垂直于光轴的轴线旋转，保证透过样品后的光线垂直照射在显微物镜上，调节样品、显微物镜、CCD(电荷耦合器件)三者间的距离成像，CCD(电荷耦合器件)获取的图像信息传输到中央处理器进行数据处理。