化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要

一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元；(ii)由式(II)表示的聚合单元；和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元。

主权项

1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中所述的(A)树脂包含(i)由式(I)表示的聚合单元：其中R¹⁰表示氢原子或C1-C4烷基，R¹¹表示C1-C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数，并且当q是1或2时，多个R¹¹可以相同或不同，(ii)由式(II)表示的聚合单元：其中R¹表示氢原子或甲基，R²表示C1-C8烷基，并且环X表示脂环烃基，和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元：式(III)中，R³表示氢原子或C1-C4烷基，并且R⁴、R⁵、R⁶、R⁷和R⁸各自独立地表示氢原子，C1-C4烷基，C1-C4烷氧基或羟基；式(IV)中，R⁹表示氢原子或甲基，n1表示0或1，并且R^a表示可以被选自C1-C6烷基和羟基中的至少一个取代的蒽基。