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发明名称 SELECTIVE REMOVAL CHEMISTRIES FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS, METHODS OF PRODUCTION AND USES THEREOF
摘要
申请公布号 EP1991637(A2) 申请公布日期 2008.11.19
申请号 EP20070750366 申请日期 2007.02.08
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 YELLOWAGA, DEBORAH;PALMER, BEN;STARZYNSKI, JOHN;MCFARLAND, JOHN;LOWE, MARIE
分类号 C09K13/08 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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