发明名称
摘要
申请公布号 JP4182402(B2) 申请公布日期 2008.11.19
申请号 JP20020299632 申请日期 2002.10.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L43/08;H01L43/12 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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