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发明名称 Displacement measurement system
摘要
申请公布号 EP1837630(B1) 申请公布日期 2008.11.19
申请号 EP20070250993 申请日期 2007.03.09
申请人 ASML NETHERLANDS BV 发明人 KLAVER, RENATUS GERARDUS;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;VAN DER PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANCISCUS
分类号 G01D5/38 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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