| 发明名称 | 半导体制造用自动化物料运输系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种半导体制造用自动化物料运输系统，包括：至少一个储料箱，每个储料箱至少包含一个储料单元；以及输送机构，所述输送机构其至少包括一个在屋顶的轨道上运行的空中运输车，所述空中运输车至少包含一个机械臂，所述机械臂从选择的储料单元中拾取至少一组物料，并随后输送到预定位置，所述储料箱的高度为屋顶到地板距离的三分之一到二分之一。本发明的自动化物料运输系统节省了FAB内的立体空间，为其它设备的摆放提供了空间，方便了操作人员在工位之间的移动，而且储料箱自身也便于移动。 | ||
| 申请公布号 | CN100435310C | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200510111678.8 | 申请日期 | 2005.12.19 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 赵增利;郭延中;马魁武;丁江波 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);B65G49/07(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1、一种半导体制造用自动化物料运输系统，包括：至少一个储料箱，每个储料箱至少包含一个储料单元；以及输送机构，所述输送机构其至少包括一个在屋顶的轨道上运行的空中运输车，所述空中运输车至少包含一个机械臂，所述机械臂从选择的储料单元中拾取至少一组物料，并随后输送到预定位置，其特征在于：所述储料箱的箱体高度为屋顶到地板距离的三分之一到二分之一，所述储料箱的顶部通过悬挂机构连接于屋顶。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||