| 发明名称 | 用于清洗硅片的刷片头 | ||
| 摘要 | 本发明涉及硅片表面清洗设备的刷片头，公开了一种用于清洗硅片的刷片头，包括至少两个刷子，且该刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动。本发明用于清洗硅片的刷片头，能有效提高硅片表面颗粒的去除率，并减少停留于刷子毛之间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污。 | ||
| 申请公布号 | CN101305861A | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200710040834.5 | 申请日期 | 2007.05.18 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 宁开明;伍强;毛玮;陈志刚 |
| 分类号 | A46B13/02(2006.01);A46B7/08(2006.01);B08B1/04(2006.01) | 主分类号 | A46B13/02(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾继光 |
| 主权项 | 1.一种用于清洗硅片的刷片头，其特征在于，所述刷片头包括至少两个刷子，且该刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 | ||