处理系统

摘要

在第一种情况中，提供一第一基片处理系统，它包括：(1)一具有许多开口的室，基片可经过该开口被运输；(2)一结合至许多开口的第一个上的基片载体开启器；(3)一结合至许多开口的第二个上的热处理室；以及(4)一包含在室中的晶片搬运器，它具有一基片夹紧叶片和一用于运输高温基片的叶片。还提供了许多其它情况，以及按照这些和其它情况的方法和计算机程序产品。

主权项

1.一用于运输基片的基片搬运器，它包括：一叶片，包括一叶片部分，它用于在由叶片限定的第一平面中支承基片，并包括一支承部分，其连接于并适于支承所述叶片部分；以及一传感器，其连接于叶片的支承部分，用于检测叶片上的基片的存在，该传感器包括一发射器和一检测器，该发射器用于发射一光束，以使该光束处于第一平面内，该检测器用于接收和检测该光束，发射器和检测器都连接至叶片上，以使在第一平面内被叶片支承的基片遮断该光束。