发明名称 一种宽温区、高精度温控装置
摘要 本实用新型涉及一种宽温区、高精度温控装置,其包含:压缩机制冷单元、三通阀混流循环单元、高精度温度采集单元和PID控制单元。本实用新型提供的宽温区、高精度温控装置,其控温范围宽;可在节能条件下实现高精度温度控制;减小系统滞后性,提高系统响应速度;同时可解决高温工况压缩机吸气温度过高的问题。
申请公布号 CN201152945Y 申请公布日期 2008.11.19
申请号 CN200820055223.8 申请日期 2008.01.30
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 龚岳俊;束剑平;陈杰;卜荣翔
分类号 G05D23/20(2006.01);G05D23/01(2006.01);H01L21/00(2006.01);F25B41/04(2006.01);F25B41/00(2006.01) 主分类号 G05D23/20(2006.01)
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈蘅;李时云
主权项 1.一种宽温区、高精度温控装置,其特征在于,包含压缩机制冷单元、三通阀混流循环单元、高精度温度采集单元和PID控制单元;所述的压缩机制冷单元包含压缩机;所述的三通阀混流循环单元包含三通阀,其是一可对模拟量控制混比的连续调节器;所述的高精度温度采集单元包含若干高精度温度传感器,分别连接PID控制单元;所述的PID控制单元内设置有可编程逻辑控制系统和PID扩展模块;该PID控制单元内还嵌入高精度温度控制算法,控制三通阀的开度分配比例调节。
地址 201203上海市张江高科技园区张东路1525号