发明名称 |
一种宽温区、高精度温控装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种宽温区、高精度温控装置,其包含:压缩机制冷单元、三通阀混流循环单元、高精度温度采集单元和PID控制单元。本实用新型提供的宽温区、高精度温控装置,其控温范围宽;可在节能条件下实现高精度温度控制;减小系统滞后性,提高系统响应速度;同时可解决高温工况压缩机吸气温度过高的问题。 |
申请公布号 |
CN201152945Y |
申请公布日期 |
2008.11.19 |
申请号 |
CN200820055223.8 |
申请日期 |
2008.01.30 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
龚岳俊;束剑平;陈杰;卜荣翔 |
分类号 |
G05D23/20(2006.01);G05D23/01(2006.01);H01L21/00(2006.01);F25B41/04(2006.01);F25B41/00(2006.01) |
主分类号 |
G05D23/20(2006.01) |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
1.一种宽温区、高精度温控装置,其特征在于,包含压缩机制冷单元、三通阀混流循环单元、高精度温度采集单元和PID控制单元;所述的压缩机制冷单元包含压缩机;所述的三通阀混流循环单元包含三通阀,其是一可对模拟量控制混比的连续调节器;所述的高精度温度采集单元包含若干高精度温度传感器,分别连接PID控制单元;所述的PID控制单元内设置有可编程逻辑控制系统和PID扩展模块;该PID控制单元内还嵌入高精度温度控制算法,控制三通阀的开度分配比例调节。 |
地址 |
201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |